[发明专利]图像处理装置、基于自组装光刻技术的图案生成方法以及计算机程序

摘要

一种实现适合于通过基于DSA(Directed Self-Assembly，自组装技术)的图案形成而生成的试样上的定址的图像处理装置、基于自组装光刻技术的图案生成方法以及计算机程序，其中，根据基于DSA的图案形成中所使用的导向图案数据来生成用于定址的模板。能够提供一种适用于测定或检查通过基于DSA的图案形成工序而形成的图案时的视野对位的定址图案。

主权项

一种图像处理装置，其具备使用预先生成的模板在图像上执行图案匹配的匹配处理部，该图像处理装置的特征在于，该匹配处理部使用根据表示应用于自组装光刻的导向图案的数据形成的模板来执行所述图案匹配。