[发明专利]树脂容器用涂覆装置

摘要

本发明的树脂用涂覆装置包括：多个腔室（40A、40B、40C、40D），分别以独立的状态容纳多个树脂容器（B）；多个内部电极（50），在内周部形成有引导原料气体的气体引导部（51），并且分别插入到容纳于腔室中的多个树脂容器（B）的内部；气体供应部（70），向多个腔室（40A、40B、40C、40D）供应原料气体；高频电源（80），向多个腔室（40A、40B、40C、40D）供应高频电力；和电力切换部（85），能够将从该高频电源（80）供应的高频电力的供应目的地从构成第一单元（U1）的第一和第二腔室（40A，40B）切换至构成第二单元（U2）的第三和第四腔室（40C、40D）。

主权项

 一种树脂容器用涂覆装置，包括：多个腔室，用作相互电独立的多个外部电极，并且将多个树脂容器分别以独立状态容纳；多个内部电极，电接地并且形成为筒状，其中在其内周部形成有用于引导原料气体的气体引导部，并且分别插入到容纳于所述腔室中的多个所述树脂容器内部；气体供应部，用于将所述原料气体供应至所述多个腔室；高频电源，用于向所述多个腔室供应高频电力；以及电力切换部，能够将从所述高频电源供应的高频电力的供应目的地从所述多个腔室的一部分切换至其它腔室。