[发明专利]用于对腔室抽真空的真空泵系统以及用于控制真空泵系统的方法有效
| 申请号： | 201380058746.1 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104822943A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 迪尔克·席勒;丹尼尔·施奈登巴赫;托马斯·德赖费特;马格努斯·亚尼茨基 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C25/02;F04C28/02;F04C28/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于对腔室(10)抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有主泵系统(12，14)，所述主泵系统与腔室(10)连接。辅助泵系统(20)与主泵系统(12，14)连接，其中辅助泵系统(20)具有喷射泵。借助于根据本发明的方法，根据在主泵系统(12，14)的出口(16)或入口(50)处测量的压强，调节主泵系统(12，14)的至少一个泵的转速。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 腔室抽 真空 真空泵 系统 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对腔室(10)抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有：主泵系统(12，14)，所述主泵系统与所述腔室(10)连接；和辅助泵系统(20)，所述辅助泵系统与所述主泵系统(12，14)的出口(16)连接，其特征在于，所述辅助泵系统(20)具有喷射泵，尤其是气体喷射泵。
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