[发明专利]硬掩膜组合物、用于其的单体及使用其形成图案的方法

摘要

本发明是关于一种由化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、一种含有单体的硬掩膜组合物、以及一种使用硬掩膜组合物的图案形成方法。在上述的化学式1中，A、A′、L、L′、X以及n与说明书中所定义的相同。所述用于硬掩膜组合物的单体具有优良的抗化学性以及抗蚀刻性，不会产生逸出气体。

主权项

一种用于硬掩膜组合物的单体，以下列化学式1表示：[化学式1]其中，在上述化学式1中，A及A’各自独立地表示经取代或未经取代的C5至C60的芳香族环基、经取代或未经取代的C5至C60的脂肪族环基、经取代或未经取代的C2至C60的芳香族杂环基、经取代或未经取代的C2至C60的脂肪族杂环基或其组合，X为氢原子、氧原子、卤素原子、羟基、亚硫酰基、硫醇基、氰基、经取代或未经取代的氨基、经取代或未经取代的C1至C30的烷基、经取代或未经取代的C1至C20的烷胺基，或经取代或未经取代的C1至C30的烷氧基，L为单键或双键，L′为单键，或经取代或未经取代的C1至C6的亚烷基，以及n为1至3的整数。若当所述X为氧原子时，所述L为双键，若当所述X为氢原子、卤素原子、羟基、亚硫酰基、硫醇基、氰基、经取代或未经取代的氨基、经取代或未经取代的C1至C30的烷基、经取代或未经取代的C1至C20的烷胺基，或经取代或未经取代的C1至C30的烷氧基时，L为单键。