[发明专利]用于工件处理的输送带的优化无效
| 申请号： | 201380059391.8 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104798189A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·布然特·宝佩特;麦考林·N·丹尼尔;尔路奇·伯内卡特;杰森·M·夏勒;查尔斯·T·卡尔森;威廉·T·维弗 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种在工件处理系统中用于处理工件的系统及方法。该系统利用三个输送带，其中一个可为载料皮带，由输送带相关的工件托架供给未处理工件到加工系统。第二输送带可为卸料皮带，由加工系统接收已加工的工件，且填满与第二输送带相关的工件托架。此时，第三输送带可交换输送带的工件托架，一旦所有的工件已经由和第一输送带相关的工件托架移除，第三输送带便可开始操作为载料皮带。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 处理 输送带 优化 | ||
【主权项】：
一种工件处理系统，包含：三个输送带；三个索引器，每一所述索引器和个别的所述输送带相关，每一所述索引器适于保持工件托架；以及仓储自动控制装置，交换配置在该些索引器之一上的工件托架，其中所述三个输送带中的每一个的行进方向可以被改变，允许各所述输送带在不同时间操作为载料皮带及卸料皮带。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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