[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201380059960.9 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104781366A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 横田周吾;坂部晃一 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种研磨用组合物，其保存稳定性良好，能够以高速研磨缺乏化学反应性的研磨对象物。本发明为一种研磨用组合物，其pH为6以下，且包含表面固定有有机酸的二氧化硅、分子量不足2万的二元醇、和pH调节剂。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其pH为6以下，且包含：表面固定有有机酸的二氧化硅、分子量不足2万的二元醇、和pH调节剂。
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