[发明专利]带电粒子线装置、试样台单元以及试样观察方法

摘要

带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。

主权项

一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：将一次带电粒子线照射到试样上的带电粒子光学镜筒；形成该带电粒子线装置的一部分，内部由真空泵真空排气的机箱；能维持上述真空排气的空间的气密状态，且能上述一次带电粒子线透过或通过的第一隔膜；以及在上述第一隔膜与上述试样之间能使上述一次带电粒子线透过或通过的第二隔膜，对与上述第二隔膜接触的状态的试样照射上述一次带电粒子线。