[发明专利]油扩散泵以及真空成膜装置

摘要

提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。

主权项

一种油扩散泵，在配置于壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作，由此使工作油气化而生成油蒸气，将该油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行排气动作，其特征在于，所述油蒸气产生器具有：容器，其在立起设置方向上延伸，使由被加热材料构成的筒部件的下端封闭，用于在其内部贮油；发热体，其沿着筒部件的内壁面配置，且由被加热材料构成；感应线圈，其缠绕于筒部件的周围；以及供电单元，其对感应线圈施加数十Hz至数百Hz的低频交流电，所述油蒸气产生器构成为，通过使所述供电单元工作，由此使所述发热体加热，从而使所述容器内的油气化。