[发明专利]在碳纳米管的定向阵列上形成的多层涂层有效
申请号: | 201380060639.2 | 申请日: | 2013-10-21 |
公开(公告)号: | CN104798208B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | B·蔻拉;A·夏尔;V·辛格 | 申请(专利权)人: | 佐治亚科技研究公司 |
主分类号: | H01L31/00 | 分类号: | H01L31/00;H01L31/18;H01L51/42 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛 |
地址: | 美国佐*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本文描述了含有碳纳米结构‑氧化物‑金属二极管,诸如碳纳米管(CNT)‑氧化物‑金属二极管的阵列,以及其制造和使用方法。在一些实施方案中,所述阵列含有垂直定向的碳纳米结构,诸如用介电层的保形涂层(如金属氧化物)涂布的多壁碳纳米管(MWCNT)。碳纳米结构的尖端用诸如钙或铝的低逸出功金属涂布以在尖端处形成纳米结构‑氧化物‑金属界面。所述阵列由于其固有的低电容可以在高达约40皮赫的频率下用作整流天线。本文所描述的阵列在低至0.3V的低开启电压和高达约7800mA/cm2的大电流密度以及至少约10、15、20、25、30、35、40、45、50、55或60的整流比下产生高度不对称性和非线性。 | ||
搜索关键词: | 碳纳米结构 氧化物 金属二极管 碳纳米管 多壁碳纳米管 金属氧化物 保形涂层 不对称性 垂直定向 定向阵列 多层涂层 金属界面 金属涂布 开启电压 纳米结构 整流天线 低电容 尖端处 介电层 逸出功 制造 | ||
【主权项】:
1.一种能量转换装置,其包括基板和碳纳米结构‑氧化物‑金属垂直二极管阵列,其中所述二极管阵列包含多个垂直定向的碳纳米结构;其中所述碳纳米结构具有108至1012碳纳米结构/cm2的堆积密度;其中所述碳纳米结构用厚度为0.5与15nm之间的介电层均匀地和保形地涂布,以及所述碳纳米结构的尖端用导电材料涂布以在所述碳纳米结构、所述介电层以及所述导电材料之间形成隧道二极管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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