[发明专利]热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器有效
| 申请号： | 201380061000.6 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104812927A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 藤田利晃;田中宽;长友宪昭 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;G01K7/22;H01C7/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-vCrv)xAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。 | ||
| 搜索关键词： | 热敏电阻 金属 氮化物 材料 及其 制造 方法 以及 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
一种热敏电阻用金属氮化物材料，其是用于热敏电阻的金属氮化物材料，其特征在于，由以通式：(Ti1‑vCrv)xAly(N1‑wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，所述热敏电阻用金属氮化物材料的结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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