[发明专利]感光树脂组合物、抗蚀剂层压体及它们的固化产物

摘要

本发明的目的是提供以下：感光环氧树脂组合物，其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像，所述图像具有垂直侧壁并且耐湿热；和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体；以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物，其含有以下：环氧树脂(A)，具有特定结构的多元醇化合物(B)，阳离子聚合光引发剂(C)，含环氧基的硅烷化合物(D)，和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)，和式(2)表示的环氧树脂(b)。

主权项

1.感光树脂组合物，其包含：环氧树脂A，多元醇化合物B，阳离子光聚合引发剂C，含环氧基的硅烷化合物D，和反应性环氧单体E；环氧树脂A包含从下式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇的反应得到的环氧树脂a：和下式(2)表示的环氧树脂b：其中m是平均值，表示在2至30范围内的实数，R1和R2各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基、或三氟甲基，X各自独立地表示氢原子或缩水甘油基，并且存在的多个X中的至少一个是缩水甘油基；多元醇化合物B包含下式(3)表示的聚酯多元醇：其中x是平均值，表示在1至15范围内的实数，和R3表示二价脂族烃基，其可以在碳链内含有至少一个醚键；和/或下式(4)表示的聚酯多元醇：其中y是平均值，表示在1至6范围内的实数，和R4表示三价脂族烃基，其可以在碳链内含有至少一个醚键；和反应性环氧单体E包含下式(10)表示的环氧化合物和/或下式(11)表示的环氧化合物：其中R5表示具有1至11个碳原子的二价脂族烃基；其中R6表示具有1至11个碳原子的三价脂族烃基，相对于所述环氧树脂a的质量，所述环氧树脂b的用量是2质量％～4900质量％，相对于所述环氧树脂A的总质量，所述多元醇化合物B的掺合比是1质量％至30质量％，相对于所述环氧树脂A、所述多元醇化合物B和所述反应性环氧单体E的总质量，所述阳离子光聚合引发剂C的掺合比是0.1质量％至15质量％，相对于所述环氧树脂A、所述多元醇化合物B、所述阳离子光聚合引发剂C和所述反应性环氧单体E的总质量，所述含环氧基的硅烷化合物D的掺合比是1质量％至15质量％，且相对于所述环氧树脂A和所述多元醇化合物B的总质量，所述反应性环氧单体E的掺合比为2质量％至12质量％。