[发明专利]具有可互换气体喷射器的沉积系统和相关的方法

摘要

一种沉积系统，该沉积系统包括能够在该沉积系统的腔室中可互换地使用的两个或更多个气体喷射器。所述气体喷射器中的每个均可以被构造成在基板支撑结构上产生一片流动气体。这些片的流动气体可以具有不同宽度，从而所述气体喷射器可以与具有不同直径的基板一起使用，这可以使用在不同基板的情况下使用所述系统，同时保持有效利用前体气体。形成这种沉积系统的方法包括将这种气体喷射器形成和构造成可在沉积腔室内的公共位置处可互换地使用。使用这种沉积系统的方法包括使用两个或更多个这种气体喷射器以将材料沉积在具有不同尺寸的基板上。

主权项

一种沉积系统，该沉积系统包括：沉积腔室；具有上支撑表面的基板支撑结构，该上支撑表面被构造成在所述沉积腔室内支撑基板；和至少两个气体喷射器，所述至少两个气体喷射器中的每个气体喷射器均被构造成能够互换地安置在所述沉积腔室内的公共位置处，所述至少两个气体喷射器中的每个气体喷射器均被构造成在所述沉积系统的操作期间在所述基板支撑结构之上产生一片大体层状的流动气体，所述至少两个气体喷射器中的第一气体喷射器包括两个邻接的板，这两个邻接的板限定了位于其间的一个或多个气体流动通道，所述气体流动通道被定位并构造成在所述第一气体喷射器的出口处产生具有第一最大宽度的一片大体层状的流动气体，所述第一最大宽度横向于在平行于所述基板支撑结构的所述上支撑表面的气体流动平面中的气体流动方向；所述至少两个气体喷射器中的第二气体喷射器包括两个邻接的板，这两个邻接的板限定了位于其间的一个或多个气体流动通道，所述气体流动通道被定位并构造成在所述第二气体喷射器的出口处产生具有第二最大宽度的第二片大体层状的流动气体，所述第二最大宽度横向于所述气体流动平面中的所述气体流动方向，所述第二最大宽度小于所述第一最大宽度。