[发明专利]用于多层磁性材料的改良式晶种层

摘要

一种磁性元件，其中揭露一种如氮化钽/镁复合式晶种层以增强垂直磁异向性于覆盖式磁性层，其可为参考层、自由层或是偶极层。第一晶种层选自一或多个钽、锆、铌、氮化钽、氮化锆、氮化铌及钌，第二晶种层选自一或多个镁、锶、钛、铝、钒、铪、硼、硅，由镍镉或其合金所制成的成长促进层可插入在晶种层及磁性层间，磁性元件具有至少400℃的热稳定性。

主权项

一种磁性元件，其包括：一第一晶种层，其包含一或多个钽Ta、锆Zr、铌Nb、氮化钽TaN、氮化锆ZrN、氮化铌NbN及钌Ru；一第二晶种层，其接触该第一晶种层的顶部表面，且包含一或多个镁Mg、锶Sr、钛Ti、铝Al、钒V、铪Hf、硼B、硅Si、镁锆MgZr及镁铌MgNb，该第二晶种层及一磁性层形成一第一界面；该磁性层；及一通道阻障层，其由氧化镁MgO或另一氧化物所构成，且形成于该磁性层，以得到一复合式晶种层/磁性层/通道阻障层结构。