[发明专利]圆形状抛光垫无效
| 申请号： | 201380061943.9 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104812530A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 木村毅 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/11;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;钟守期 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够有效地抑制被抛光材料表面的抛光不匀的圆形状抛光垫。就本发明的圆形状抛光垫而言，其包括在抛光表面具有XY格子槽的圆形状抛光层，圆形状抛光层的中心点在由以下3条虚拟直线A、B和C包围的区域Z内(包括虚拟直线上的部分)偏移。其中，虚拟直线A为连接如下点的直线：使X槽或Y槽上的点在与该X槽或Y槽垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点；虚拟直线B为连接如下点的直线：使XY格子槽的一条对角线D上的点在与该对角线D垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点；虚拟直线C为连接如下点的直线：使XY格子槽的另一条对角线E上的点在与该对角线E垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 抛光 | ||
【主权项】：
一种圆形状抛光垫，其包括，在抛光表面具有XY格子槽的圆形状抛光层，其特征在于，所述圆形状抛光层的中心点在由以下3条虚拟直线A、B及C包围的的区域Z内偏移，该区域Z包括虚拟直线上的部分，其中，虚拟直线A为连接如下点的直线：使X槽上的点在与该X槽垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点、或者使Y槽上的点在与该Y槽垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点；虚拟直线B为连接如下点的直线：使XY格子槽的一条对角线D上的点在与该对角线D垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点；虚拟直线C为连接如下点的直线：使XY格子槽的另一条对角线E上的点在与该对角线E垂直相交的方向移动槽间距的5％距离的点。
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