[发明专利]具有可离开平面运动的移动质量块的微机电装置在审
| 申请号： | 201380062279.X | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104955767A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 弗朗索瓦-格扎维埃·布瓦洛;雷米·拉欧比;纪尧姆·茹尔当 | 申请（专利权）人： | 特罗尼克斯微系统公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/08;G01P15/12;G01P15/125 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用作力传感器的微机电设备，包括移动质量块，该移动质量块通过弹簧或变形元件与一个或多个锚定区域相连，以及用于探测移动质量块的位移的探测组件，该移动质量块具有外部框架和内部体，该外部框架和内部体通过至少两个固定于外部框架的不同两侧并形成解耦弹簧的柔性部分相连。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 离开 平面 运动 移动 质量 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种形成自半导体基底的微机电设备，所述基底具有沿x轴和y轴定义平面的层，垂直于所述层的轴定义为z轴，所述设备包括：至少一个锚定区域(4、14、24、34、44)，所述锚定区域相对所述基底固定；至少一个移动质量块，所述移动质量块能够通过绕沿x轴指向的旋转轴旋转，沿z轴离开基底平面；至少一个变形元件(10、110、210、310、410)，所述变形元件(10、110、210、310、410)将所述移动质量块连接至所述锚定区域(4、14、24、34、44)；和至少一个探测所述移动质量块的位移的探测组件(3)，其特征在于，所述移动质量块具有形成支撑结构(8、18、28、38、48)的第一部分以及形成移动质量块的主体(11、111、211、311、411)的第二部分，所述第一部分(8、18、28、38、48)通过变形元件(10、110、210、310、410)与所述锚定区域相连，所述第一部分与第二部分(11、111、211、311、411)通过至少两个柔性部分(7、117、217、227、307、337、437)相连，所述柔性部分形成固定于所述第一部分(8、18、28、38、48)的不同两侧的解耦弹簧，所述第二部分包括至少一个使所述第二部分和所述基底之间配合的区域，形成限制所述移动质量块的第二部分(11、111、211、311、411)相对于所述锚定区域移动的阻挡部(9、119、229、309)。
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