[发明专利]辊子

摘要

本申请涉及一种辊子、一种薄膜形成装置以及一种薄膜形成方法。本申请提供了一种用于能够传送基板(例如，柔性基板，诸如塑料膜及纤维或金属网或薄膜)且同时可在基板表面上形成薄膜的装置中的辊子、包括辊子的薄膜形成装置以及利用薄膜形成装置的薄膜形成方法。

主权项

一种辊子，用作薄膜形成装置的导辊，所述薄膜形成装置包括：传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及处理区，其安装为在由所述传送单元所传送的所述基板的表面上形成薄膜，其中所述辊子具有这样的结构：所述辊子的端部的直径大于其中央部分的直径，或不存在中央部分，以便在与所述基板的传送方向垂直的方向上与所述基板的两端部相接触，但不与所述基板的其他部分相接触。