[发明专利]用于实施X-射线荧光分析的方法和设备有效

专利信息
申请号: 201380062406.6 申请日: 2013-10-22
公开(公告)号: CN104956211B 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: J.凯斯勒 申请(专利权)人: 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所
主分类号: G01N23/223 分类号: G01N23/223
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 杜荔南;张懿
地址: 德国辛*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及用于实施X‑射线荧光分析的方法,其中初级辐射(16)从X‑射线辐射源(14)对准样本主体(12),其中从样本主体(12)发射的次级辐射(18)由检测器(20)检测并且由评估单元(21)评估,其中具有形成滤波器层级的至少一个滤波器层(25)的至少一个滤波器(23)被引入到次级辐射(18)的射束路径中并且根据滤波器层(25)相对于次级辐射(18)的角度α充当带通滤波器,并且次级辐射(18)的破坏性波长通过布拉格反射被去耦,滤波器(23)的滤波器层(25)的角度α利用调整设备(31)被调整以用于通过布拉格反射来反射次级辐射(18)的至少一个破坏性波长,并且次级辐射(18)的去耦的波长由第二检测器(32)检测,并且由此标识的信号被转发到评估单元(21)。
搜索关键词: 滤波器 次级辐射 波长 布拉格反射 评估单元 去耦 样本 检测器 带通滤波器 第二检测器 方法和设备 射线辐射源 初级辐射 调整设备 射束路径 射线荧光 检测 层级 反射 对准 分析 转发 发射 引入 评估
【主权项】:
1.用于实施X‑射线荧光分析的方法,其中初级辐射(16)从X‑射线辐射源(14)对准样本主体(12),其中从样本主体(12)发射的次级辐射(18)由检测器(20)检测并且由评估单元(21)评估,其特征在于,‑具有形成滤波器层级的至少一个滤波器层(25)的至少一个滤波器(23)被引入到次级辐射(18)的射束路径中并且根据滤波器层(25)相对于次级辐射(18)的角度α充当带通滤波器,并且次级辐射(18)的破坏性波长通过布拉格反射被去耦,‑滤波器(23)的滤波器层(25)的角度α利用调整设备(31)被调整以用于通过布拉格反射来反射次级辐射(18)的至少一个破坏性波长,并且次级辐射(18)的去耦的波长由第二检测器(32)检测,并且由此标识的信号被转发到评估单元(21)。
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