[发明专利]振动测量的方法以及干涉仪有效
| 申请号： | 201380063341.7 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104823029B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | E·维克哈根 | 申请（专利权）人： | 奥普通诺尔股份公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01B9/02;G01H1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 挪威特*** | 国省代码： | 挪威;NO |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 方法和系统用于使用三个照射光束(11A至11C)测量物体(12)在两个或三个方向上的振动，以测量两个方向上的平面内振动，其中，三个照射光束(11A至11C)中的一个公共用于两个平面内测量，其中，三个照射光束(11A至11C)被配置成在物体(12)一侧提供空闲空间，以更容易接近所述物体。方法和系统被进一步布置用于使用两个照射光束(30A至30B)测量物体(12)在第三方向上的振动，第三方向是平面外方向，其中，一个照射光束(30A)正在通过成像物镜(16)照射物体(12)并且使用照射光束(30B)被作为参考光束。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 测量 方法 以及 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种通过干涉仪测量物体(12)在平面内的两个方向上的振动、或测量物体(12)在平面内的两个方向上的振动以及平面外的一个方向上的振动的方法，所述方法的特征在于，所述方法包括：‑使用三个照射光束(11A至11C)中的第一照射光束和第二照射光束来测量在平面内的一个方向上的振动，并且使用第二照射光束和第三照射光束来测量在平面内的另一个方向上的振动，其中所述三个照射光束(11A至11C)中的一个是用于平面内的两个方向上的振动测量的公共照射光束，以及其中所述三个照射光束(11A至11C)被配置成在所述物体(12)一侧提供空闲空间，以更容易接近所述物体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥普通诺尔股份公司，未经奥普通诺尔股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380063341.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于测试水的方法和设备
- 下一篇：纵向剖开的火器射弹
