[发明专利]空分复用光学相干断层扫描设备及方法有效
申请号: | 201380063727.8 | 申请日: | 2013-07-24 |
公开(公告)号: | CN104854423B | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 周超 | 申请(专利权)人: | 周超 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01B9/027;G01N21/45 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵伟 |
地址: | 美国宾*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明披露了空分复用光学相干断层扫描设备及其系统。在一个实施例中,所述系统包括光源、参考臂和样品臂。样品臂将采样光分成可被同时扫描在样品表面上的多条采样光束。扫描之前,采样光束可以引入光延迟。多个从样品返回的反射光信号被采集。在一个布局中,可将信号合并以产生单一反射光信号。反射光信号和参考光信号合并产生包含代表实际物体数字化图像数据的干涉信号。在一个实施例中,单一样品臂可以用于扫描和收集图像数据。本发明还提供了相关的扫描方法。 | ||
搜索关键词: | 空分复 用光 相干 断层 扫描 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种空分复用光学相干断层扫描系统,所述系统包括:一个长相干光源,产生具有大于5mm的相干长度的光以提供光学成像深度范围;将光分成参考光和采样光的第一光学设备;具有固定光学长度的参考臂,接收参考光并且产生参考光信号;将采样光分成多条采样光束的并且同时传输多个采样光束的第二光学设备;一个在多条采样光束之间产生光学延迟的光学延迟元件,所述光学延迟比所述光源的相干长度短,使得当形成图像时在不同的频带检测来自不同物理位置的信号;一个将多条采样光束同时扫描到样品表面上的多个不同采样位置的扫描器件;所述第二光学设备操作为同时接收从多个不同的采样位置返回的多个反射的光信号;第三光学设备,配置为基于同时接收从样品表面上的多个不同采样位置反射回的、由多条采样光束和参考光生成的多个反射光信号,来产生多个干涉信号;其中干涉信号包含样品数字化图像数据。
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