[发明专利]微接触压印方法在审
| 申请号： | 201380064460.4 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104823107A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | G.克赖因德尔;M.温普林格;M.楚伊基 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周铁;吕彩霞 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及借助结构印模的压印面将压印材料转移到衬底的目标表面上以微接触压印结构的方法，其特征在于，该压印材料至少主要地由硅烷构成或者至少主要地由至少一种硅烷衍生物构成，并且该结构印模为软质印模。此外，本发明涉及相关方法，其中该压印材料是至少主要地由有机分子构成的分子组分。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 压印 方法 | ||
【主权项】：
借助结构印模(1)的压印面(2o)将压印材料(3)转移到衬底(4)的目标表面(4o)上以微接触压印结构的方法，其特征在于，压印材料(3)至少主要地由硅烷构成或者至少主要地由至少一种硅烷衍生物构成，或者为至少主要地由有机分子构成的分子组分，并且结构印模(1)为软质印模。
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