[发明专利]角速度检测元件

摘要

本发明的角速度检测元件(10)的振动体(11)具备：从中心基部(12)设置成十字形的检测梁部(13A～13D)、连接在相邻的检测梁部(13A～13D)之间的外侧连结梁部(14A～14D)及内侧连结梁部(15A～15D)。检测梁部(13A～13D)具备：与中心基部(12)相连的基端检测梁(24)、以及分成三路的中央检测梁(21)、左侧检测梁(22)及右侧检测梁(23)。中央检测梁(21)与两侧的外侧连结梁部(14A～14D)相连，左侧检测梁(22)与左侧的内侧连结梁部(15A～15D)相连，右侧检测梁(23)与右侧的内侧连结梁部(15A～15D)相连。外侧连结梁部(14A～14D)中的相邻的外侧连结梁部进行驱动振动，使得以夹在中间的检测梁部(13A～13D)为边界朝向成为镜像关系的方位发生位移。

主权项

一种角速度检测元件，基于因科里奥利力的作用而在沿着平板面进行驱动振动的振动体产生的检测振动，来检测出角速度，其特征在于，所述振动体包括：固定于所述平板面的中心的中心基部；四个检测梁部，该四个检测梁部在所述平板面以等角度间隔从所述中心基部朝辐射方向延伸；四个内侧连结梁部，该四个内侧连结梁部连结于相邻的四个所述检测梁部之间，并设有锤部；以及四个外侧连结梁部，该四个外侧连结梁部连结于相邻的四个所述检测梁部之间，并设有锤部，且较所述内侧连结梁部配置于辐射方向的外侧，四个所述检测梁部分别具备：在辐射方向的内侧端部连结于所述中心基部的基端检测梁；中央检测梁，该中央检测梁在辐射方向的内侧端部连结于所述基端检测梁，在辐射方向的外侧端部，与在第一方向侧相邻的所述外侧连结梁部及在第一方向的反方向即第二方向侧相邻的所述外侧连结梁部相连结，其中所述第一方向在所述平板面与辐射方向正交；第一方向侧检测梁，该第一方向侧检测梁在辐射方向的内侧端部连结于所述基端检测梁，在辐射方向的外侧端部，与在第一方向侧相邻的所述内侧连结梁部相连结；以及第二方向侧检测梁，该第二方向侧检测梁在辐射方向的内侧端部连结于所述基端检测梁，在辐射方向的内侧端部，与在第二方向侧相邻的所述内侧连结梁部相连结，所述振动体的驱动振动下，对于四个所述外侧连结梁部与四个所述内侧连结梁部中的一方，将所述检测梁部夹在中间而相邻的锤部彼此朝向在所述平板面以所述检测梁部为边界成为镜像关系的方位发生位移，四个所述外侧连结梁部与四个所述内侧连结梁部中的另一方则静止。