[发明专利]微阀装置和微阀装置的制造方法

摘要

一种微阀装置和微阀装置的制造方法，该微阀装置包括：本体，包括第一层(7)和与第一层(7)构成腔室(9)的至少第二层(8)，其中，第一层(7)具有与腔室(9)流体相通的至少两个流体端口(4，5，6)；以及对应于预定的流体端口(4，5，6)设置有压电执行器(1，2，3)，其中，压电执行器(1，2，3)置于腔室(9)中并且其应变伸缩方向平行于第一层(7)，其中，压电执行器(1，2，3)的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡流体端口(4，5，6)以控制流体端口(4，5，6)的开关状态。压电执行器(1，2，3)在应变伸缩方向上的自由端直接遮蔽流体端口(4，5，6)，通过控制压电执行器(1，2，3)的应变伸缩，实现了对流体端口(4，5，6)直接控制的目的。

主权项

1.一种微阀装置，其特征在于，包括：本体，至少包括第一层和与所述第一层构成腔室的第二层，其中，所述第一层包括与所述腔室流体相通的第一流体端口、第二流体端口和第三流体端口，其中，所述第一流体端口为流体源端口，所述第二流体端口为控制端口，所述第三流体端口为回流端口；所述腔室中对应于所述第一流体端口设有第一压电执行器，所述腔室中对应于所述第二流体端口设有第二压电执行器以及对应于第三流体端口设有第三压电执行器，其中，所述第一流体端口和第三流体端口平行间隔设置，所述第二流体端口位于所述第一流体端口和第三流体端口之间，其中，所述微阀装置为先导微阀，所述第一压电执行器和所述第三压电执行器置于所述腔室中并且所述第一压电执行器和所述第三压电执行器的应变伸缩方向均平行于所述第一层，其中，所述第一压电执行器和所述第三压电执行器的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡所述第一流体端口和所述第三流体端口以控制所述流体端口的开关状态。