[发明专利]蝶式压力控制阀

摘要

本发明提供一种蝶式压力控制阀，其适合于在真空区域内进行压力控制的情况，通过来自相同驱动源的动力发挥高密封性并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，以简单的构造实现了小型化。本发明中，阀开闭机构(10)具有：阀芯(11)，其在与流路(4)垂直的方向上旋转；座环(12)，其能够在流路(4)方向上往复运动而与阀芯(11)接触分离；凸轮机构(13)，其用于使座环(12)从阀芯(11)分离且使阀芯(11)旋转；以及往复运动机构(14)，其用于使座环(12)在阀芯(11)方向上往复运动，该阀开闭机构(10)通过凸轮机构(13)使座环(12)分离并且使阀芯(11)无滑动地旋转，在使阀芯(11)旋转至闭阀状态时通过凸轮机构(13)、往复运动机构(14)使座环(12)与阀芯(11)接触分离，从而在流路(4)内进行压力控制，并且阀开闭机构(10)设置为能够由相同驱动源进行驱动。

主权项

一种蝶式压力控制阀，其特征在于，该蝶式压力控制阀具有阀开闭机构，该阀开闭机构包括：阀芯，其能够在相对于阀体内的流路垂直的方向上旋转；座环，其能够在所述流路的方向上往复运动而使阀座密封部与所述阀芯接触分离；凸轮机构，其用于使该座环从所述阀芯分离且使所述阀芯旋转；以及往复运动机构，其用于使所述座环在所述阀芯方向上往复运动，该阀开闭机构是如下的开闭机构：在通过所述凸轮机构使所述座环从所述阀芯分离了的状态下使该阀芯无滑动地旋转，在所述阀芯旋转到闭阀状态时通过所述凸轮机构和所述往复运动机构使所述座环与所述阀芯接触分离，从而控制所述流路内的压力；将该阀开闭机构设置为能够由相同驱动源进行驱动。