[发明专利]蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法在审
| 申请号： | 201380066886.3 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104884664A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·凯勒;乌韦·许斯勒;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;里奥·库韦克·比安-孙 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述用于蒸发包括碱金属或碱土金属的材料及用于沉积所述材料于基板上的沉积装置。所述装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置以液化材料；阀，所述阀与第一腔室流体连通且在第一腔室下游，其中阀被配置以控制液化材料通过阀的流率；蒸发区，所述蒸发区与阀流体连通且在阀下游，其中蒸发区被配置以蒸发液化材料；及一或更多出口，所述一或更多出口用于将蒸发材料导向基板。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 沉积 装置 设备 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种沉积装置，所述沉积装置用于蒸发材料及沉积所述材料于基板上，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置以用于液化所述材料；阀，所述阀与所述第一腔室流体连通且在所述第一腔室下游，其中所述阀被配置以用于控制所液化的材料通过所述阀的流率；蒸发区，所述蒸发区与所述阀流体连通且在所述阀下游，其中所述蒸发区被配置以用于蒸发所液化的材料；及一或更多出口，所述一或更多出口用于将所蒸发的材料导向所述基板。
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