[发明专利]用于泵吸轻气体的泵站以及泵站的使用在审
| 申请号： | 201380067683.6 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN104870815A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 迪尔克·席勒;丹尼尔·施奈登巴赫;托马斯·德赖费特 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B37/18;F04B41/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有：与待抽真空的腔室(10)连接的干燥压缩的第一泵(12)以及与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)。泵站同样具有其它的与这些泵并联地或串联地设置的干燥压缩的泵。为了避免由于设有油密封的泵或者由于提供吹扫气体而引起对轻气体的污染，根据本发明，其是干燥压缩的泵，所述干燥压缩的泵相对于周围环境是气密密封的，使得能够在待抽真空的腔室(10)中产生低的过程压强。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 泵吸轻 气体 泵站 以及 使用 | ||
【主权项】：
一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有：与待抽真空的腔室连接的干燥压缩的第一泵(12)；和与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)，其特征在于，干燥压缩的这些泵(12，14)相对于周围环境气密密封并且不设有吹扫气体供给。
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