[发明专利]缓冲器系统、装置和方法

摘要

本公开描述了一种非耗能缓冲器电路，所述非耗能缓冲器电路被配置为在负载的阻抗快速地上升之后升高施加到所述负载的电压。电压升高从而能够在由所述负载的阻抗上升导致的到所述负载的电力递送的降低之后引起更加快速的电流斜坡变化。尤其地，缓冲器能够包括单向开关、电压倍增器、以及电流限制器的组合。在一些情况下，这些部件能够分别是二极管、电压两倍器、以及电感器。

主权项

一种脉冲DC电源系统，所述脉冲DC电源系统向多个非阳极电极提供脉冲DC电力，所述多个非阳极电极保持等离子体处理室中的等离子体，所述脉冲DC电源系统包括：第一DC电源，其向第一轨道和第二轨道供应第一DC电力，所述第一轨道和所述第二轨道具有在所述第一轨道与所述第二轨道之间的第一轨道电压；第一开关电路，其经由所述第一轨道和所述第二轨道接收所述第一DC电力，并且将所述第一DC电力转换为第一脉冲DC电压，所述第一脉冲DC电压被配置为至少递送给所述等离子体处理室中的第一非阳极电极；第一电压升高电路，其耦合在所述第一轨道与所述第二轨道之间，所述第一电压升高电路包括第一电压倍增器和第一电压倍增器调节器，所述第一电压倍增器被配置为当等离子体负载的阻抗增加时从所述第一DC电源汲取电流，从而使所述第一轨道电压提升第一升高电压V₂，所述第一升高电压V₂能够由所述第一电压倍增器调节器来选择；第二DC电源，其向第三轨道和第四轨道供应第二DC电力，所述第三轨道和所述第四轨道具有在所述第三轨道与所述第四轨道之间的第二轨道电压；第二开关电路，其经由所述第三轨道和所述第四轨道接收所述第二DC电力，并且将所述第二DC电力转换为第二脉冲DC电压，所述第二脉冲DC电压被配置为至少递送给所述等离子体处理室中的第二非阳极电极；以及第二电压升高电路，其耦合在所述第一轨道与所述第二轨道之间，所述第二电压升高电路包括第二电压倍增器和第二电压倍增器调节器，所述第二电压倍增器被配置为当所述等离子体负载的所述阻抗增加时从所述第二DC电源汲取电流，从而使所述第二轨道电压提升第二升高电压V₂，所述第二升高电压V₂能够由所述第二电压倍增器调节器来选择。