[发明专利]纳米压印用光固化性组合物、及使用其的微细图案基板的制造方法

摘要

本发明提供纳米压印用光固化性组合物，其通过薄薄涂布于基板并进行光照射可以迅速固化形成薄膜，固化收缩小，可将模具的微细的图案精度良好地转印。本发明的纳米压印用光固化性组合物包含下述成分(A)及成分(B)。成分(A)：下述式(a-1)表示的化合物(式中，R¹～R¹⁸表示氢原子、卤原子、任选含有氧原子或卤原子的烃基，或任选具有取代基的烷氧基。X表示单键或连接基团)。成分(B)：具有氟代烷基氟磷酸阴离子的光阳离子聚合引发剂。

主权项

纳米压印用光固化性组合物，其包含下述成分(A)及成分(B)，成分(A)：下述式(a‑1)表示的化合物，式中，R¹～R¹⁸相同或不同，表示氢原子、卤原子、任选含有氧原子或卤原子的烃基、或任选具有取代基的烷氧基，X表示单键或连接基团，成分(B)：具有氟代烷基氟磷酸阴离子的光阳离子聚合引发剂。