[发明专利]工件粘附卡盘装置及工件贴合机

摘要

本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其在大气气氛下，轻松且可靠地从剥离部剥离真空中被粘附剥离的板状工件。本发明中，相对于在粘附部(1)被粘附保持的板状工件(W)，在真空气氛下将剥离部(2)弹性突出变形，而使按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触，从而板状工件(W)从粘附部(1)被剥离。之后，在保持使剥离部(2)的按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触的状态下，使板状工件(W)的周围大气开放，从而空气通过流路(2p)从剥离部(2)的外侧空间(S2)向内侧空间(S1)流入，剥离部(2)的内侧空间(S1)与板状工件(W)之间被真空破坏。

主权项

一种工件粘附卡盘装置，在真空气氛下剥离被粘附保持的板状工件之后，使该板状工件的周围大气开放，其特征在于，具备：粘附部，该粘附部以与所述板状工件对置的方式设置且装卸自如地粘附保持该板状工件；及剥离部，该剥离部可弹性变形，且以包围所述粘附部的外周的方式设置，随着朝向所述板状工件的突出变形而压接于所述板状工件的表面并从所述粘附部强制剥离，所述剥离部具有按压面和真空破坏用流路，该按压面在配置有所述粘附部的内侧空间与配置在所述剥离部外侧的外侧空间之间包围该内侧空间的外周地形成，从真空气氛直至大气开放时与所述板状工件的所述表面接触；该真空破坏用流路在所述按压面与所述板状工件的所述表面接触的大气开放时使所述内侧空间与所述外侧空间连通，而使空气从所述外侧空间向所述内侧空间流入。