[发明专利]使用激光脉冲倍增器的半导体检验及计量系统

摘要

本发明揭示一种脉冲倍增器，其包含分束器及一或多个镜。所述分束器接收一系列输入激光脉冲且将每一脉冲的能量的部分引导到环形腔中。在围绕所述环形腔循环之后，所述脉冲能量的部分通过所述分束器离开所述环形腔且所述能量的部分被再循环。通过选择环形腔光学路径长度，可使输出系列的激光脉冲的重复速率为输入重复速率的倍数。可通过选取所述分束器的透射及反射系数来控制所述输出脉冲的相对能量。这种脉冲倍增器可花费不多地降低每脉冲的峰值功率，同时在具有最小总功率损耗的情况下增加每秒的脉冲数目。

主权项

一种脉冲倍增器，其包括：分束器，其用于接收输入激光脉冲；及一或多个镜，其形成包含所述分束器的环形腔；其中所述分束器引导所述激光脉冲的能量的第一分数作为所述脉冲倍增器的输出，且将所述激光脉冲的所述能量的第二分数引导到所述环形腔中。