[发明专利]半导体光学装置和半导体光学装置的制造方法有效
申请号: | 201380070732.1 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN104956499B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 斋藤龙舞 | 申请(专利权)人: | 斯坦雷电气株式会社 |
主分类号: | H01L33/32 | 分类号: | H01L33/32;H01L33/22 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 半导体光学装置具有:芯片,其是半导体叠层的芯片,所述半导体叠层具有:具有第1面的第1导电型的第1半导体层、具有第2面的与第1导电型相反的第2导电型的第2半导体层、和夹在所述第1半导体层与所述第2半导体层之间的有源层,所述芯片的侧面包括:第1侧面,其与所述第2面连续,与第2面之间形成钝角,横截所述第2半导体层和所述有源层,并进入到所述第1半导体层;和与所述第1侧面连续的分割面;第1导电型侧电极,其形成在所述第1面上;以及第2导电型侧电极,其形成在所述第2面上,所述半导体叠层的面内尺寸是50μm以下。 | ||
搜索关键词: | 半导体层 导电型 半导体光学装置 半导体叠层 芯片 侧电极 侧面 源层 分割面 钝角 横截 制造 | ||
【主权项】:
1.一种半导体光学装置,其中,所述半导体光学装置具有:芯片,其是半导体叠层的芯片,所述半导体叠层具有:具有第1面的第1导电型的第1半导体层、具有第2面的与第1导电型相反的第2导电型的第2半导体层、和夹在所述第1半导体层与所述第2半导体层之间的有源层,所述芯片的侧面是接近没有突出部的曲面的形状,包括:第1侧面,其与所述第2面连续,与第2面之间形成钝角,横截所述第2半导体层和所述有源层,并进入到所述第1半导体层;和与所述第1侧面连续的分割面;第1导电型侧电极,其形成在所述第1面上;以及第2导电型侧电极,其形成在所述第2面上,在生长所述芯片时所使用的生长衬底被除去,所述芯片仅由所述半导体叠层构成,所述第1导电型侧电极和所述第2导电型侧电极露出,所述半导体叠层的面内尺寸是50μm以下。
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