[发明专利]用于光伏器件或类似等的多晶硅厚膜及制备其的方法在审
| 申请号： | 201380070983.X | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104919094A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 维贾伊·S·维拉萨米;马丁·D·布拉卡蒙特 | 申请（专利权）人： | 葛迪恩实业公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C23C16/02;C30B29/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘培培;黎艳 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制备多晶硅膜的方法，包括：在基片上沉积含有镍的催化剂层，并沉积镍纳米粒；将所述催化剂层和所述纳米粒暴露至硅烷气；以及在所述暴露至硅烷气的至少一部分时间期间将涂有所述催化剂层和所述纳米粒的所述基片热处理，在所述基片上生长含有硅的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 器件 类似 多晶 硅厚膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种涂层制品，包括：镍纳米粒，被分散在基片上，位于含有镍的催化剂膜之上；和硅膜，被形成在所述基片上，位于所述镍纳米粒之上并位于所述催化剂膜之上。
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