[发明专利]采用啁啾脉冲放大法的激光装置有效
| 申请号： | 201380071877.3 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN104956554B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 大上裕纪;牧野吉刚 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;G02B5/18;G02B27/44 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在利用啁啾脉冲放大法的激光装置中的、压缩激光脉冲的脉冲压缩器(20)包括：以光栅面相对的方式平行配置的同一形状的两块衍射光栅(201、202)；以及使经由了该衍射光栅(201、202)的激光脉冲反射并再次入射至该衍射光栅的全反射镜(203)。各衍射光栅(201、202)是具有表面被Au反射膜所覆盖的截面呈锯齿状的槽的反射型闪耀衍射光栅，具有闪耀角，所述闪耀角被确定为，对于所使用的激光脉冲的波长，入射于脉冲压缩器(20)的激光脉冲的入射角和1级衍射光相对于槽斜面呈镜面反射的关系，且得到规定的衍射效率。由于激光脉冲相对于槽斜面大致垂直地入射，因此，能够得到高的损伤阈值，并得到高输出的激光脉冲。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 脉冲 压缩 衍射 光栅 装置 | ||
【主权项】：
1.一种采用啁啾脉冲放大法的激光装置，其特征在于，具备脉冲压缩器，所述脉冲压缩器包括以光栅面相对的方式平行配置的同一形状的第一衍射光栅、第二衍射光栅这两块衍射光栅，并获得经由了所述两块衍射光栅的激光脉冲，所述第一衍射光栅及所述第二衍射光栅为具有至少表面被金属反射膜覆盖的截面呈锯齿状的槽的反射型闪耀衍射光栅，所述第一衍射光栅及所述第二衍射光栅具有闪耀角，所述闪耀角被确定为，对于所使用的激光脉冲的波长，入射的激光脉冲的入射角和1级衍射光相对于槽斜面呈镜面反射的关系，且得到规定的衍射效率，在所述脉冲压缩器中，这两块衍射光栅被配置为，从所述第一衍射光栅入射至所述第二衍射光栅的激光脉冲相对于所述第二衍射光栅的槽斜面大致垂直地入射。
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