[发明专利]干涉设备及使用这种设备的样品特征确定设备有效
| 申请号： | 201380072100.9 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN105121998B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 江·项;马丁·海顿 | 申请（专利权）人： | 哈德斯菲尔德大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭愿洁;彭家恩 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种干涉设备，包括：短相干长度或宽波段光源；光导向仪，用于将来自所述光源的光沿测量路径引向样品表面及还沿参考路径引向参考表面；波长色散仪，用于使沿所述测量路径和所述参考路径的光发生波长色散；组合器，用于使来自所述样品表面的光和来自所述参考表面的光产生干涉图样或干涉图；探测器，用于检测作为波长函数的所述干涉图样的强度值；确定器，用于从所检测的强度值确定所述测量路径和所述参考路径均衡时的波长，其中波长色散仪为光栅波长色散仪、棱镜波长色散仪和光学色散介质中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 设备 使用 这种 样品 特征 确定 | ||
【主权项】：
1.一种干涉设备，包括：短相干长度或宽波段光源；光导向仪，用于将来自所述光源的光沿测量路径引向样品表面及还沿参考路径引向参考表面；光纤组合器，来自所述短相干长度源的光耦合到连接一段光纤的光纤组合器的臂里，所述一段光纤耦合远程物镜组件，以将从所述光纤出射的光聚焦或准直于所述样品上，以提供所述测量路径上的测量光束，其中，所述物镜组件具有部分反射表面，从而一部分所述光是沿着光纤反射回，以提供所述参考路径上的参考光束；波长色散仪，用于使沿所述测量路径和所述参考路径的光发生波长色散；另一组合器，用于使来自所述样品表面的光和来自所述参考表面的光产生干涉图样或干涉图；探测器，用于检测作为波长函数的所述干涉图样的强度值；确定器，用于从所检测的强度值确定所述测量路径和所述参考路径均衡时的波长，其中，波长色散仪为光栅波长色散仪、棱镜波长色散仪和光学色散介质中的至少一种。
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