[发明专利]浮动传送装置、传送轨道和浮动传送方法在审
申请号: | 201380072879.4 | 申请日: | 2013-11-11 |
公开(公告)号: | CN104995113A | 公开(公告)日: | 2015-10-21 |
发明(设计)人: | 佐藤光;安田贵裕;伊藤彰彦 | 申请(专利权)人: | 奥依列斯工业株式会社 |
主分类号: | B65G51/03 | 分类号: | B65G51/03;B65G49/06;H01L21/677 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 朱海涛 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明解决了当通过在传送方向上相邻、其间具有空间的两个传送轨道的传送面之间的间隙时进一步稳定待传送的物体的浮动状态的问题。浮动传送装置从在传送方向上布置的传送轨道(1)的传送面(110)发射压缩空气的射流,并且在传送方向上传送待传送的物体(3)、如玻璃基板,同时导致其在传送轨道(1)的传送面(110)之上浮动。间隙(4)在相对于传送方向成规定角(θ)倾斜的方向上形成于在传送方向上相邻并且来自在传送方向上布置的传送轨道(1)的传送面(110)之中的两个传送面(110A、110B)之间。对于两个传送面(110A、110B)中的、在传送方向上位于下游侧的传送面(110B),对应于角(θ)的在后端面(123)上的角部(118)的远端定位成在传送方向上比对应于在传送方向上位于上游侧的传送面(110A)的角(θ)的在前端面(121)侧的角部(116)的远端更靠上游。 | ||
搜索关键词: | 浮动 传送 装置 轨道 方法 | ||
【主权项】:
一种浮动传送装置,其在沿着传送方向的传送表面和待传送的物体之间形成流体膜并且在从所述传送表面浮动所述物体时在传送方向上传送所述物体,其中:所述浮动传送装置包括多个传送轨道,每个传送轨道具有所述传送表面并且喷射流体以便在所述传送表面和所述物体之间形成所述流体膜;所述多个传送轨道沿着传送方向布置成使得所述传送轨道的相应传送表面沿着传送方向布置;关于在传送方向上相邻的两个传送表面的每一对,所述传送表面具有相应边缘,每个边缘连接在传送方向上位置不同的两个位置;并且所述两个传送表面的相应边缘相对以形成所述两个传送表面之间的间隙,使得所述间隙与垂直于传送方向的方向交叉;并且,在所述两个相对边缘之间,在传送方向上位于下游的一个传送表面的边缘具有在由所述边缘连接的所述两个位置之间位于上游的一个位置,相比于在由在传送方向上位于上游的另一传送表面的边缘连接的所述两个位置之间位于下游的位置,所述位于上游的一个位置在传送方向上位于上游。
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