[发明专利]用于硬遮罩组成物的单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述组成物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201380073499.2 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN105026389B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 尹龙云;李圣宰;文俊怜;朴惟廷;李哲虎;赵娟振 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C07D407/10 | 分类号： | C07D407/10;G03F7/004;C08G59/22 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 马爽,臧建明 |
| 地址： | 韩国庆尚北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种用于硬遮罩组成物的单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述组成物形成图案的方法。本发明的用于硬遮罩组成物的单体，是以下列化学式1表示[化学式1]其中，在以上的化学式1中，A是取代或未取代的多环芳香基，A'是取代或未取代的C6‑C20亚芳基，X是环氧基，Y是氢、羟基、C1至C10的烷基氨基、氨基、＝O或它们的组合，l是0至6的整数，及m和n是各自独立地为1至4的整数。本发明提供的用于硬遮罩组成物的单体，由于优异的交联而减少释气。 | ||
| 搜索关键词： | 单体 包含 硬遮罩 组成 使用 述硬遮罩 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种用于硬遮罩组成物的单体，是由下列化学式2至5之一表示：[化学式2][化学式3][化学式4][化学式5]其中，在上述化学式2至5中，n各自独立地是1至4的整数。
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