[发明专利]基于空间分束的光学MEMS干涉仪

摘要

一种基于空间分束的光学微机电系统(MEMS)干涉仪包括用于将输入光束空间分束成两个干涉仪光束的空间分束器和用于将两个干涉仪光束空间合束的空间合束器。提供了一种MEMS可移动镜，用于产生第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间的光学路径差。

主权项

1.一种光学MEMS干涉仪，包括：空间分束器，光学耦合为接收输入光束，并且可操作为将所述输入光束空间分束成第一干涉仪光束和第二干涉仪光束，而所述第一干涉仪光束和所述第二干涉仪光束两者均不在形成所述空间分束器的介质内传播，所述空间分束器进一步用于将所述第一干涉仪光束向第一干涉仪臂引导并且将所述第二干涉仪光束向第二干涉仪臂引导；空间合束器，光学耦合到所述第一干涉仪臂以接收所述第一干涉仪光束并且光学耦合到所述第二干涉仪臂以接收所述第二干涉仪光束，并且可操作为将所述第一干涉仪光束和所述第二干涉仪光束空间合束以产生输出；可移动镜，在所述第二干涉仪臂内，并且光学耦合为接收所述第二干涉仪光束并且将所述第二干涉仪光束向所述空间合束器反射；以及MEMS致动器，耦合到所述可移动镜以引起所述可移动镜的位移，由此产生所述第一干涉仪光束和所述第二干涉仪光束之间的光学路径差；其中所述输入光束、所述第一干涉仪光束和所述第二干涉仪光束以及输出光束中的每个光束在不同于所述空间分束器的空间分束器介质和所述空间合束器的空间合束器介质的传播介质内传播；其中所述空间分束器、所述空间合束器、所述可移动镜以及所述MEMS致动器单片集成在相同基板之上；其中所述空间合束器与所述空间分束器分离，使得所述空间合束器和所述空间分束器是非邻近的。