[发明专利]静电容量式传感器、声音传感器以及麦克风有效
| 申请号： | 201380074449.6 | 申请日： | 2013-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN105191351B | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 井上匡志 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 董雅会;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在硅基板(22)上开设有在上下方向上贯通的腔(23)。以覆盖腔(23)的上表面开口的方式将隔膜(24)配置于硅基板(22)的上表面。在隔膜(24)的内侧，隔膜(24)的角部设有脚片(26)。隔膜(24)与脚片(26)被狭缝(25)分离，脚片(26)沿着隔膜(24)的对角方向伸出。脚片(26)在隔膜(24)的外周侧的端部与隔膜(24)结合，隔膜(24)的中心侧的端部被设于硅基板(22)的上表面的固定构件(27)支撑。以覆盖隔膜(24)的方式在硅基板(22)的上方设有背板(28)，在背板(28)的下表面与隔膜(24)相向地设有固定电极板(29)。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 容量 传感器 声音 以及 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种静电容量式传感器，其特征在于，具有：基板，具有至少在上表面开设的空洞，振动电极板，以覆盖所述空洞的上表面的方式形成于所述基板的上方，背板，以覆盖所述振动电极板的方式形成于所述基板的上方，固定电极板，配置在所述背板的下表面的与所述振动电极板相向的位置；还具有脚片，所述脚片的整周被所述振动电极板包围，并且，所述脚片的一部分与所述振动电极板结合，所述脚片能够被静止构件支撑。
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