[发明专利]通过监视另一频带中的功率的脉冲同步在审
| 申请号： | 201380074722.5 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN105103660A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·纳尔逊;戴维·J·库莫 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 柴德海;康泉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种射频(RF)功率传递系统包括第一RF发生器和第二RF发生器。该第一RF发生器作为主RF发生器操作，并且第二RF发生器作为从RF发生器操作。该从RF发生器包括用于感测该从RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器还包括用于感测来自该主RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器的操作受主管器或控制器控制。该主管器或控制器根据由第二检测器确定的电气性质，操作该从RF发生器。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 监视 另一 频带 中的 功率 脉冲 同步 | ||
【主权项】：
一种射频(RF)功率传递系统，包括：第一RF发生器，提供用于向负载传递的第一RF信号；以及第二RF发生器，提供用于向所述负载传递的第二RF信号，所述第二RF发生器包括第一检测器和第二检测器，所述第一检测器检测所述第一RF信号的电气性质，所述第二检测器检测所述第二RF信号的电气性质，其中，根据由所述第一检测器检测到的电气性质，使所述第二RF发生器的操作与所述第一RF发生器的操作协调。
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