[发明专利]电弧蒸发源有效
| 申请号： | 201380076080.2 | 申请日： | 2013-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105164305B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 冈崎尚登;吉原健;石塚浩;松野知保;楢原真司 | 申请（专利权）人： | 日本ITF株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 陶敏,臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电弧蒸发源，在真空中利用电弧放电使阴极材料熔解、蒸发而在基材表面成膜，包括形成为大致圆板形状的阴极、及配置于阴极的背面侧的磁场产生单元，磁场产生单元构成为如下，即，利用在阴极的背面以磁极朝向相对于阴极的放电面为20°～50°方向配置的至少一个永久磁铁而产生磁场，所述磁场在阴极的外周面形成相对于基材方向为锐角的磁力线、在阴极的放电面的最外周部形成相对于放电面大致垂直的磁力线、在阴极的放电面的靠外周面的部分形成相对于阴极的中心方向为锐角的磁力线，所述电弧蒸发源能够充分利用阴极的外周部，而能够显著提高阴极材料的利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 | ||
【主权项】：
一种电弧蒸发源，在真空中利用电弧放电使阴极材料熔解、蒸发而在基材表面成膜，且包括形成为圆板形状的阴极、及配置于所述阴极的背面侧的磁场产生单元，所述电弧蒸发源的特征在于：所述磁场产生单元构成为：利用在所述阴极的背面磁极朝向相对于所述阴极的放电面为20°～50°的方向配置的至少一个永久磁铁而产生磁场，所述磁场在所述阴极的外周面形成相对于所述基材方向为锐角的磁力线、在所述阴极的放电面的最外周部形成相对于放电面垂直的磁力线、在所述阴极的放电面的靠外周面的部分形成相对于所述阴极的中心方向为锐角的磁力线。
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