[发明专利]具有多栅极晶体管的压阻谐振器

摘要

实施例包含包含第一鳍的第一非平面晶体管，第一鳍包含第一源极和漏极节点以及在第一源极与漏极节点之间的第一沟道；包含第二鳍的第二非平面晶体管，第二鳍包含第二源极和漏极节点以及在第二源极与漏极节点之间的第二沟道；在第一鳍上在第一源极与漏极节点之间以及在第二鳍上在第二源极与漏极节点之间的非平面栅极；以及包含在栅极与第一鳍之间的第一绝缘以及在栅极与第二鳍之间的第二绝缘；其中在采用交流(AC)激励栅极与第一鳍中至少一个时，栅极以第一频率机械地谐振以便在栅极上产生周期性力。本文描述了其它实施例。

主权项

一种谐振器系统，包括：包含第一鳍的第一非平面晶体管，所述第一鳍包含第一源极节点和第一漏极节点以及在所述第一源极节点和所述第一漏极节点之间的第一沟道；包含第二鳍的第二非平面晶体管，所述第二鳍包含第二源极节点和第二漏极节点以及在所述第二源极节点和所述第二漏极节点之间的第二沟道；以及在所述第一鳍上在所述第一源极节点和所述第一漏极节点之间并且在所述第二鳍上在所述第二源极节点和所述第二漏极节点之间的非平面栅极；接收DC电流的直流DC触点，耦合到所述栅极并且进一步耦合到所述第一鳍和所述第二鳍中的至少一个；以及接收AC电流的交流AC触点，耦合到所述栅极、所述第一鳍以及所述第二鳍中的至少一个；其中所述第一和第二鳍不耦合到所述第一源极节点和所述第一漏极节点之间的任何其它栅极。