[发明专利]离子输送装置以及使用该装置的质量分析装置

摘要

在大气压环境下的电离室(1)的下一段的中间真空室(2)的内部配置将多个环状电极配置为同心圆状而成的高频电子干扰仪(20)的电极群(20A)，以使在锥孔体(7)的跟前，其中心轴与离子通过孔(7a)的中心轴一致。各环状电极的径向的截面形状为圆形，对在径向上相邻的环状电极施加相位反转了的高频电压，进一步对各环状电极施加不同的直流电压，以形成从外周侧向内周侧下坡的电势。因为电极的截面形状为圆形，所以在电极附近形成的赝势的梯度变大，故作用于离子的排斥力变大以使其远离电极。其结果，与截面形状为扁平矩形的现有结构相比，能够抑制离子的损失，尤其能够提升真空度较低的区域中的离子的收集效率、输送效率，提高质量分析的灵敏度。

主权项

一种离子输送装置，其通过电场的作用收集离子并将该离子向后段输送，所述离子输送装置的特征在于，具有：a)电极组，其由多个环状电极形成，所述多个环状电极以向后段输送离子的开口部为中心被配置为大致同心圆状，各环状电极的径向的截面形状为，至少面向离子到来的一侧的部分为弯曲状或组合多条直线而成的虚拟弯曲状；以及b)电压施加部，其对所述电极组中包含的各个环状电极分别施加电压，对该多个环状电极中在径向上相邻的环状电极施加相位相互反转了180°的高频电压，且对各环状电极分别施加不同的直流电压以形成使离子从所述电极组的外周侧朝向内周侧移动的直流电位梯度，所述离子输送装置相比于实现相同程度的离子收集效率以及离子输送效率的、各环状电极的径向的截面形状为矩形的其他离子输送装置，电极数较少。