[发明专利]氧化硅玻璃坩埚有效
| 申请号： | 201380077568.7 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105378156B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;佐藤忠广;北原贤;北原江梨子 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人： | 谢志为 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚，是具有上端开口且沿垂直方向延伸的近似圆筒形的直筒部、弯曲了的底部、以及连结所述直筒部与所述底部并且曲率大于所述底部的角部的坩埚，所述坩埚的内表面具有将槽状的谷夹设于脊部与脊部之间的凹凸结构，所述脊部与脊部的平均间隔为5～100μm。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 玻璃 坩埚 | ||
【主权项】：
一种氧化硅玻璃坩埚，是具有上端开口且沿垂直方向延伸的近似圆筒形的直筒部、弯曲了的底部、以及连结所述直筒部与所述底部并且曲率大于所述底部的角部的坩埚，其特征在于：所述坩埚的内表面具有将槽状的谷夹设于脊部与脊部之间的凹凸结构，所述脊部与脊部的平均间隔为5～100μm，所述谷实质上沿所述直筒部的周向延伸，所述凹凸结构设于所述坩埚的所述直筒部的整个内表面，所述脊部与脊部之间的间隔近似为等间隔。
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