[发明专利]用于粘度和质量检测的小型化集成微机电系统（MEMS）光学传感器阵列在审
| 申请号： | 201380079462.0 | 申请日： | 2013-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN105659079A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | H.尤里;G.亚拉里奥格鲁 | 申请（专利权）人： | KOC大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;张懿 |
| 地址： | 土耳其伊*** | 国省代码： | 土耳其;TR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明一般地涉及化学和生物传感器领域，以及特别涉及用于测量流体粘度和检测流体中的微量化学物和生物制剂的微机电系统（MEMS）传感器。本发明的目标是提供将利用远程感测在可置换套筒中工作的传感器，所述远程感测可以测量功能化悬臂在液体环境和气体环境中的动态改变。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 粘度 质量 检测 小型化 集成 微机 系统 mems 光学 传感器 阵列 | ||
【主权项】：
根据权利要求1所述的设备，进一步包括至少一个加热元件，其与每个振动机械结构相耦合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于KOC大学，未经KOC大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380079462.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
