[发明专利]电极接合装置以及电极接合方法有效

专利信息
申请号: 201380080714.1 申请日: 2013-11-06
公开(公告)号: CN105706249B 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 一濑明大;山田义人;西中大之;吉田章男 申请(专利权)人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
主分类号: H01L31/046 分类号: H01L31/046;B23K20/10;H01R43/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 柯瑞京
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于,提供一种对电极实施多点的超声波振动接合处理、且即使对基板使电极以较小的剥离力接合也能抑制各点的剥离力的偏差的电极接合装置。并且,本发明在太阳能电池单元(ST1)上使集电电极(20A、20B)沿着玻璃基板(1)的端边部(L1、L2)配置。然后,由按压构件(12A)在从端边部到配置集电电极的位置为止的玻璃基板的区域沿着端边部按压玻璃基板。然后,一边进行该按压,一边使用超声波振动工具(14)对集电电极实施超声波振动接合处理。
搜索关键词: 电极 接合 装置 以及 方法
【主权项】:
1.一种电极接合装置,是使第一电极以及第二电极(20A、20B)沿着形成有太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)的相互对置的第一端边部以及第二端边部(L1、L2)而与所述基板(1)接合的电极接合装置(100),具备:基台(11),其载置所述基板;超声波振动工具(14),其在所述太阳能电池单元上,对沿着所述第一端边部以及所述第二端边部配置的所述第一电极以及所述第二电极实施超声波振动接合处理;和2个按压构件(12A),能够在上下方向上移动,用于按压所述基板,一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第一端边部到所述第一电极的配置位置为止的第一给定区域内,沿着所述第一端边部避开所述第一电极地按压所述基板,另一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第二端边部到所述第二电极的配置位置为止的第二给定区域内,沿着所述第二端边部避开所述第二电极地按压所述基板,所述电极接合装置还具备:用于控制所述按压构件的控制部,所述控制部可变地控制由所述按压构件进行的所述按压的力。
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