[发明专利]电极接合装置以及电极接合方法有效
申请号: | 201380080714.1 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN105706249B | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 一濑明大;山田义人;西中大之;吉田章男 | 申请(专利权)人: | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
主分类号: | H01L31/046 | 分类号: | H01L31/046;B23K20/10;H01R43/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 柯瑞京 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于,提供一种对电极实施多点的超声波振动接合处理、且即使对基板使电极以较小的剥离力接合也能抑制各点的剥离力的偏差的电极接合装置。并且,本发明在太阳能电池单元(ST1)上使集电电极(20A、20B)沿着玻璃基板(1)的端边部(L1、L2)配置。然后,由按压构件(12A)在从端边部到配置集电电极的位置为止的玻璃基板的区域沿着端边部按压玻璃基板。然后,一边进行该按压,一边使用超声波振动工具(14)对集电电极实施超声波振动接合处理。 | ||
搜索关键词: | 电极 接合 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电极接合装置,是使第一电极以及第二电极(20A、20B)沿着形成有太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)的相互对置的第一端边部以及第二端边部(L1、L2)而与所述基板(1)接合的电极接合装置(100),具备:基台(11),其载置所述基板;超声波振动工具(14),其在所述太阳能电池单元上,对沿着所述第一端边部以及所述第二端边部配置的所述第一电极以及所述第二电极实施超声波振动接合处理;和2个按压构件(12A),能够在上下方向上移动,用于按压所述基板,一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第一端边部到所述第一电极的配置位置为止的第一给定区域内,沿着所述第一端边部避开所述第一电极地按压所述基板,另一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第二端边部到所述第二电极的配置位置为止的第二给定区域内,沿着所述第二端边部避开所述第二电极地按压所述基板,所述电极接合装置还具备:用于控制所述按压构件的控制部,所述控制部可变地控制由所述按压构件进行的所述按压的力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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