[发明专利]回收碳化硅粒子的非化学方法与系统在审
申请号: | 201380080829.0 | 申请日: | 2013-10-24 |
公开(公告)号: | CN105764851A | 公开(公告)日: | 2016-07-13 |
发明(设计)人: | 蔡伟明;杨·辛德斯兰 | 申请(专利权)人: | 麦拓卡夫特有限公司 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 江侧燕 |
地址: | 挪威克里*** | 国省代码: | 挪威;NO |
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摘要: | 本发明涉及一种以物理方式移除细微粒子以回收碳化硅(SiC)粒子的方法与系统,尤指一种回收悬浮于切或割开太阳能电池与电子对象的硅晶圆用的切割介质(常称为切割细泥废料(spent sawing sludge))中的SiC粒子的方法与系统。 | ||
搜索关键词: | 回收 碳化硅 粒子 化学 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种回收碳化硅(SiC)粒子的方法,利用物理方式将微小颗粒从SiC、Si与Fe粒子混合物中移除,该方法包括:把SiC、Si与Fe粒子的悬浮液进给到一水力旋流系统中以得到一下位流与一上位流,其中该水力旋流系统包括一或多个水力旋流器,其中该进给到水力旋流系统的悬浮液被加热到约45℃到60℃及/或以至少24kHz的超声波频率处理进给到该水力旋流系统的悬浮液。
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