[发明专利]光学传感器

摘要

描述一种基于生成在非零被测对象场存在的情况下在传感器(10)的感测元件(131，134)中具有不同速度的光波的两个集合来增加光学传感器(10)的精度的方法。在光波的所述两个集合之间引入所定义静态偏置相移。传感器(10)将包括静态偏置光学相移和被测对象感应光学相移的总光学相移转换为至少两个检测器通道(142，143)中的反相光功率变化。该方法包括在所述光功率变化转换为所述两个检测器通道(142，143)中的电检测器信号之后归一化光功率变化以降低光源(111)的不均匀强度或功率和检测器通道中的不同损耗或增益的影响的步骤。还提供用于对这类光学传感器和新传感器进行温度稳定的其他方法、传感器和设备。

主权项

1.一种检测感测元件中的由被测对象场所引起的光波的两个集合之间的光学相移的方法，所述方法包括下列步骤：‑ 经过所述感测元件从光源传递在非零被测对象场存在的情况下在所述感测元件内具有不同速度的光波的所述两个集合；‑ 引入光波的所述两个集合之间的静态偏置光学相移；‑ 将包括所述静态偏置光学相移和由所述被测对象场所引起的所述光学相移的总光学相移转换为至少两个检测器通道中的相反符号的光功率变化；‑ 将所述至少两个检测器通道中的所述光功率转换为电检测器信号；‑ 从所述至少两个检测器通道的所述电检测器信号中过滤谱分量，并且将所述谱分量或者从其中得出的归一化参数与至少一个电检测器信号相结合，以产生与所述被测对象场不存在的情况下的相等光平均功率对应的归一化检测器信号；‑ 组合包括所述归一化检测器信号的所述至少两个检测器通道的所述电检测器信号，以产生与所述总光学相移相关但是与所述光源的强度和所述至少两个检测器通道中的不同损耗或不同增益无关的传感器信号，其中经过滤的谱分量是所述电检测器信号的AC或瞬变内容以及所述经过滤的AC谱分量经过时间平均。