[发明专利]一种双光束耦合的激光辅助玻璃料封装系统和方法有效
| 申请号： | 201410000280.6 | 申请日： | 2014-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN104761132B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 朱树存;张建华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海大学 |
| 主分类号： | C03B23/24 | 分类号： | C03B23/24 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种双光束耦合的激光辅助玻璃料封装系统，其特征在于，包括一激光光源，用于产生一激光光束；一分光元件，用于将该激光光束分为第一激光光束和第二激光光束；一第一光学元件，用于使该第一激光光束以一倾角入射该玻璃料并形成一加热光斑；一第二光学元件，用于使该第二激光光束以一倾角入射该玻璃料并形成一辅热光斑；该加热光斑与该辅热光斑共焦且同步与该玻璃料做相对扫描运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 耦合 激光 辅助 玻璃 封装 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种双光束耦合的激光辅助玻璃料封装系统，其特征在于，包括：一激光光源，用于产生一激光光束；一分光元件，用于将所述激光光束分为第一激光光束和第二激光光束；一第一光学元件，用于使所述第一激光光束以一倾角入射所述玻璃料并形成一加热光斑；一第二光学元件，用于使所述第二激光光束以一倾角入射所述玻璃料并形成一辅热光斑；所述加热光斑与所述辅热光斑共焦且同步与所述玻璃料做相对扫描运动；所述辅热光斑比加热光斑宽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司;上海大学，未经上海微电子装备有限公司;上海大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410000280.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
