[发明专利]具有二层基板的微机械传感器

摘要

本发明公开了具有二层基板的微机械传感器，属于微机械传感器的技术领域。所述传感器包括二层单晶硅片制成的基板、第二空腔、第三空腔、通孔构成气体流通的唯一路径，在气体流通路径中最狭窄的部位布局测量电阻以及加热电阻，提高了气体流动速度。使用MEMS加工工艺，减小了传感器体积，利用这种微机械传感器可测量降水粒子。

主权项

具有二层基板的微机械传感器，其特征在于，单晶硅片制成的第一基板（101）、第二基板（201），第二基板（201）为具有二层基板的微机械传感器的底座，第一基板（101）置于第二基板（201）上方且与第二基板（201）连接，其中，第一基板（101）经过MEMS工艺处理得到开口向上的第一空腔（103）以及开口向下的第二空腔（104），所述第一空腔（103）与所述第二空腔（104）之间的部分第一基板构成第一膜片 （102），第二基板（201）经过MEMS工艺处理得到开口向上的第三空腔（202）以及开口向下的第四空腔（203），所述第三空腔（202）与所述第四空腔（203）之间的部分第二基板构成第二膜片（204），所述第二膜片（204）上开有通孔（208），所述第三空腔（202）与所述第二空腔（104）连通，所述第二膜片（204）上固定有加热电阻（206）、分别置于加热电阻（206）两侧的第一测量电阻（205）、第二测量电阻（207）。