[发明专利]一种溅射镀膜用金靶材的生产方法有效
| 申请号： | 201410001334.0 | 申请日： | 2014-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN103726024A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 马丹萍;黄威智;方家芳 | 申请（专利权）人： | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D7/00;B22D7/12 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;汪庆朋 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射镀膜用金靶材的生产方法，包括以下几个步骤：（1）将原材料放在感应炉中熔炼，使原材料完全熔化形成液体，对液体进行快速浇注形成金铸锭，金铸锭安装在石墨浇注底板上；（2）在金铸锭的外围放置石墨注模，然后烘烤石墨注模，并在石墨浇注底板下放置耐热棉；（3）将烘烤后的所述石墨注模抬起至金铸锭的中下部，维持60～120s，然后进行锻造加工，即形成金靶材。本发明通过浇铸工艺，提高浇注温度，降低烘烤石墨注模温度，快速浇注，增加了形核数量；在石墨浇注底板下放置耐热棉保温，可使铸锭上下温度一致，达到均匀化晶粒细化目的，平均尺寸小于50um，晶粒标准偏差<30um。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 用金靶材 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射镀膜用金靶材的生产方法，其特征在于，包括以下几个步骤：（1）铸锭：将原材料放在感应炉中熔炼，使所述原材料完全熔化形成液体，对所述液体进行快速浇注形成金铸锭（3），快速浇注的温度为1100～1300℃，所述金铸锭（3）安装在石墨浇注底板（2）上；（2）凝固：在所述金铸锭（3）的外围放置石墨注模（4），然后烘烤所述石墨注模（4），使所述石墨注模（4）的温度为100～500℃，并在所述石墨浇注底板（2）下放置耐热棉（1）；（3）将烘烤后的所述石墨注模（4）抬起至金铸锭（3）的中下部，维持60～120S，然后进行锻造加工，即形成金靶材。
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