[发明专利]波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块以及电子设备

摘要

本发明提供一种波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备变更固定反射膜（54）及可动反射膜（55）之间的间隙尺寸的静电致动器（56）；与静电致动器（56）连接的固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）；及具备顶面部（531）和侧壁部（532）的第三基板（53），接合侧壁部（532）的端面及第一基板（51），由顶面部（531）、侧壁部（532）以及第一基板（51）围成的空间（D1）被气密密封，在空间（D1）中，配置有第二基板（52）及静电致动器（56），固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）设置于第一基板（51），跨空间（D1）的内外而延伸。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板相对配置的第二基板；设置在所述第一基板上的第一反射膜；在所述第二基板上与所述第一反射膜相对设置的第二反射膜；变更所述第一反射膜以及所述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙变更部；与所述间隙变更部连接的布线部；第三基板，所述第三基板具备与所述第一基板相对的顶面部以及设置于所述顶面部的周围且与所述第一基板接合的侧壁部；以及接合部件，设置于所述第三基板的所述侧壁部的端面和所述第一基板之间，所述接合部件接合所述端面和所述第一基板，其中，所述端面和所述第一基板被接合，由所述第三基板的所述顶面部、所述侧壁部以及所述第一基板围成的空间被气密密封，在所述空间内配置有所述第二基板以及所述间隙变更部，所述布线部设置于所述第一基板，跨所述空间的内外而设置，所述接合部件被配置在所述布线部和所述端面之间。